State of the Art clean room technology

FAQ

Klasifikácia čistých priestorov podľa US FEDERAL STANDARD 209E

Maximálny počet častíc vo vzduchu

 

 

0.1 μm

0.2 μm

0.3 μm

0.5 μm

5 μm

SI

English

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

M 1

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

 

 

M 1.5

1

1,240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

 

 

M 2

 

3,500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

 

 

M 2.5

10

12,400

350

2,650

75.0

1,060

30.0

353

10.0

 

 

M 3

 

35,000

991

7,570

214

3,090

87.5

1,000

28.3

 

 

M 3.5

100

 

 

26,500

750

10,600

300

3,530

100

 

 

M 4

 

 

 

75,700

2,140

30,900

875

10,000

283

 

 

M 4.5

1,000

 

 

 

 

 

 

35,300

1,000

247

7.00

M 5

 

 

 

 

 

 

 

100,000

2,830

618

17.5

M 5.5

10,000

 

 

 

 

 

 

353,000

10,000

2,470

70.0

M 6

 

 

 

 

 

 

 

1,000,000

28,300

6,180

175

M 6.5

100,000

 

 

 

 

 

 

3,350,000

100,000

24,700

700

Upozornění: Federal standard 209E byl zrušen a nahrazen normou ISO 14644.